- обработка после ионной имплантации
- post ion-implantation processing
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ — (от англ. planar плоский), совокупность способов изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем путем формирования их структур только с одной стороны пластины (подложки), вырезанной из монокристалла. П. т. основа микроэлектроники,… … Химическая энциклопедия
Электроника — наука о взаимодействии электронов с электромагнитными полями и о методах создания электронных приборов и устройств, в которых это взаимодействие используется для преобразования электромагнитной энергии, в основном для передачи, обработки… … Большая советская энциклопедия
Диффузионный слой — – приповерхностные объемы материала, химический состав которых изменился в результате диффузии при химико термической обработке (ХТО). Изменение химического состава этих объемов приводит к изменению фазового состава, структуры и свойств материала … Википедия